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Fine Leak (vazamento fino)

Vazamento fino é um termo usado em microeletrônica em testes de vazamentos de pacotes herméticos.

Um pacote hermeticamente selado é pressurizado com hélio ou selado com gás hélio traçador por dentro. O pacote selado é submetido a uma câmera de vácuo conectada ao espectrômetro de massa, onde a taxa de vazamento de hélio é medida em atm cc/seg.

O padrão militar permite que um pacote hermeticamente selado tenha uma taxa de vazamento igual ou inferior a 5 x 10-8 atm cc/seg.